# a b c d e f g h i j k l m n o p q r s t u v w x y z

surface micromachining

არსებითი სახელი
/͵sɜ:fɪs͵maɪkrəʊməʹʃiːnɪŋ/
ქართულად | რუსულად
ზედაპირული მიკროდამუშავება (მიკროელექტრომექანიკური სისტემების ელემენტების დამზადების პროცესი, რომელიც სილიციუმის ან სხვა მასალის ფუძეშრეზე ამა თუ იმ სტრუქტურის დაშრევებით ხორციელდება) [შდრ. აგრ. bulk micromachining].