surface micromachining
არსებითი სახელი
/͵sɜ:fɪs͵maɪkrəʊməʹʃiːnɪŋ/
ქართულად | რუსულად
ზედაპირული მიკროდამუშავება (მიკროელექტრომექანიკური სისტემების ელემენტების დამზადების პროცესი, რომელიც სილიციუმის ან სხვა მასალის ფუძეშრეზე ამა თუ იმ სტრუქტურის დაშრევებით ხორციელდება) [შდრ. აგრ. bulk micromachining].